[发明专利]一种MEMS压电谐振式露点传感器装置及其露点识别方法有效
| 申请号： | 202110802390.4 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113552171B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 谢金;王涛;管扬扬 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N25/68 | 分类号： | G01N25/68;G01K11/26 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 傅朝栋;张法高 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS压电谐振式露点传感器装置及其露点识别方法，方法包括：利用网络分析仪驱动MEMS压电谐振器，将待测气体通过进气孔通入气室中，并实现气室的封闭；将半导体制冷片通电降温，使气室内的相对湿度不断增加直至水汽饱和，在MEMS压电谐振器的表面产生水分凝结，连续记录温度传感器的温度值和MEMS压电谐振器输出的谐振频率值；以步骤S2降温过程中输出的谐振频率值作为因变量y、负温度值作为自变量x，进行分段函数拟合；在拟合得到的最终函数中，分段点所对应的温度传感器的温度值，即为待测气体的露点温度。该方法拓宽了在露点测量领域可用的MEMS谐振器种类范围，也提高了测量的可靠性和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压电 谐振 露点 传感器 装置 及其 识别 方法 | ||
【主权项】：
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