[发明专利]复合氧化锆粉体、氮化铝陶瓷基板及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202110800525.3 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113698201B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 杨雪蛟;付苒;谭毅成 | 申请（专利权）人： | 合肥商德应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/488 | 分类号： | C04B35/488;C04B35/628;C04B35/582;C04B35/622;B82Y40/00;B82Y30/00;H01L23/15;H01L21/48 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 侯武娇 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种复合氧化锆粉体、氮化铝陶瓷基板及其制备方法与应用。该复合氧化锆粉体包括内核及包裹于内核的壳层，内核为纳米氧化锆，壳层为氧化铝及氮化铝的混合物。通过在纳米氧化锆表面包覆氧化铝/氮化铝壳层，避免氧化锆粉体作为增韧剂加入氮化铝陶瓷时，氧化锆反应生成杂质而导致含量减少，达不到预期的增韧效果，因此能够保证氧化锆的增韧效果，同时由于氧化锆表面包覆氧化铝/氮化铝壳层结构，氧化锆颗粒不易发生团聚，因而能够保证陶瓷制品性能均一性。采用上述复合氧化锆粉体作为增韧剂得到的氮化铝陶瓷基板在保证热导率满足半导体封装基板使用要求的情况下，具有优良的力学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 氧化锆 氮化 陶瓷 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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