[发明专利]减压干燥装置以及减压干燥方法在审
| 申请号： | 202110798155.4 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN114111229A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 中谷修平;吉田英博;阿部敬行;室真弘;日向亮二;槇本敦 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B9/06;F26B25/00;F26B25/18;B05D3/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种减压干燥装置以及减压干燥方法。减压干燥装置具备：腔室；基板保持部，在所述腔室的内部，对形成有包含溶剂的涂敷膜的基板进行保持；减压机构，对所述腔室的内部进行减压；以及扩散抑制部，抑制从所述涂敷膜蒸发的溶剂的扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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