[发明专利]一种LPCVD炉管在线清洗方法在审
| 申请号： | 202110797411.8 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113680767A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 梁笑;林佳继;刘群;张武;庞爱锁 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B9/032 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博;卓彩霞 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种一种LPCVD炉管在线清洗方法，包括以下步骤：将炉管炉门封闭，检查真空，确认机台真空度，然后升温；通入N2，升温至350‑700℃稳定，然后停止通入氮气，同时控制系统压力处于100mtorr‑1000mtorr的压力范围下；进气口通入无机非金属氟化物气体；关闭无机非金属氟化物气体进气阀门，同时通入氮气赶走未完全反应的前驱体以及反应生成物；通入氮气，回压，然后炉管降温；待炉管内压力接近大气压时，打开炉门清洗完成。本发明的在线清洗方法能够用于清洗LPCVD设备工艺过程中沉积在炉管内壁的非晶硅、氮化硅，二氧化硅等薄膜。操作简便，随时可以对反应管进行清洗处理，效果显著，灵活性强，能够有效克服湿法清洗的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 lpcvd 炉管 在线 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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