[发明专利]一种LPCVD炉管在线清洗方法

权利要求书

1.一种LPCVD炉管在线清洗方法，其特征是，包括以下步骤：

步骤1：将炉管炉门封闭，检查真空，确认机台真空度，然后升温；

步骤2：通入N₂，升温至350-700℃稳定，然后停止通入氮气，同时控制系统压力处于100mtorr-1000mtorr的压力范围下；

步骤3：进气口通入无机非金属氟化物气体；

步骤4：关闭无机非金属氟化物气体进气阀门，同时通入氮气赶走未完全反应的前驱体以及反应生成物；

步骤5：通入氮气，回压，然后炉管降温；

步骤6：待炉管内压力接近大气压时，打开炉门清洗完成。

2.根据权利要求1所述的一种LPCVD炉管在线清洗方法，其特征是，步骤2中，通入1-50LN₂。

3.根据权利要求1所述的一种LPCVD炉管在线清洗方法，其特征是，步骤3中，所述无机非金属氟化物气体为NF₃、CF₄，PF₅，SF₆。

4.根据权利要求1所述的一种LPCVD炉管在线清洗方法，其特征是，步骤3中，无机非金属氟化物气体的流量为10-10000sccm。

5.根据权利要求1所述的一种LPCVD炉管在线清洗方法，其特征是，步骤4中，通入1-50L氮气。

6.根据权利要求1所述的一种LPCVD炉管在线清洗方法，其特征是，步骤5中，炉管降温到500℃。

7.根据权利要求1所述的一种LPCVD炉管在线清洗方法，其特征是，步骤5中，通入氮气1-50L。