[发明专利]一种电光调制器在审
| 申请号： | 202110796025.7 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113655644A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 杨妍;唐波;孙富君;张鹏;刘若男;李彬;欧祥鹏;谢玲;李志华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电光调制器，涉及光子器件技术领域，以通过设置有布拉格谐振腔的狭缝波导部将光信号局域至石墨烯层内，并增强光信号与石墨烯层之间的相互作用，提高电光调制器在工作时的电光调制响应度，提升电光调制器的工作性能。所述电光调制器包括：基底、光波导结构、石墨烯层、第一电极和第二电极。光波导结构形成在基底上。光波导结构包括设置有布拉格谐振腔的狭缝波导部。石墨烯层至少覆盖狭缝波导部。狭缝波导部用于将光信号局域至石墨烯层内。第一电极和第二电极形成在基底的上方。第一电极与光波导结构电连接。第二电极与石墨烯层电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电光 调制器 | ||
【主权项】：
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