[发明专利]载入端装置、气体闸及气体提供方法在审
| 申请号： | 202110792418.0 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113941561A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 黄日正;周孙甫 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开关于一种载入端装置、一气体闸及一种气体提供方法。该载入端装置包括一气体供应喷嘴及一气体闸。该气体供应喷嘴，可应经配置以提供一气体至一晶圆容器。该气体闸包括多个气体入口端、一气体提供端及一控制器。各气体入口端将连接至一气体源。该气体提供端，是与该气体供应喷嘴连接。该控制器经配设置以选定所述气体入口端中的其中一个作为一选定气体入口端；及连接该选定气体入口端至该气体提供端。 | ||
| 搜索关键词： | 载入 装置 气体 提供 方法 | ||
【主权项】：
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