[发明专利]载入端装置、气体闸及气体提供方法

权利要求书

1.一种载入端装置，包括：

一气体供应喷嘴，经配置以提供一气体至一晶圆容器；及

一气体闸，包括：

多个气体入口端，其中各气体入口端连接至一气体源；

一气体提供端，连接于该气体供应喷嘴；及

一控制器，经配置以选定所述气体入口端中的其中一个作为一选定气体入口端及连接该选定气体入口端至该气体提供端。

2.如权利要求1所述的载入端装置，还包括一管线，经配置以连接该气体提供端及该气体供应喷嘴。

3.如权利要求1所述的载入端装置，其中该气体闸还包括一管线，经配置以连接所述气体入口端至该气体提供端。

4.如权利要求3所述的载入端装置，其中各气体入口端具有一电动阀，其与该控制器电耦合，且该控制器更经配设置以开启该选定气体入口端的电动阀以连接该选定气体入口端至该气体提供端。

5.如权利要求4所述的载入端装置，其中该控制器更经配设置以关闭除该选定气体入口端以外的气体入口端的电动阀。

6.如权利要求4所述的载入端装置，其中该控制器更经配设置以

依据一气体控制组态，决定该选定气体入口端的一流速参数；其中该选定气体入口端的电动阀将依据该流速参数开启。

7.如权利要求4所述的载入端装置，其中该选定气体入口端的电动阀开启的期间是依据一气体控制组态。

8.如权利要求1所述的载入端装置，还包括：

一感测器，其与该控制器电耦合，用于感测该晶圆容器内的湿度或氧气浓度；

其中，该控制器更经配设置以决定湿度或氧气浓度是否超过一阀值；其中依据一气体控制组态，当湿度或氧气浓度超过阀值，该选定气体入口端将被选定。

9.一种载入端装置的气体闸，包括：

多个气体入口端，其中各气体入口端连接至一气体源；

一气体提供端，连接于载入端装置的一气体供应喷嘴；及

一控制器，经配设置以选定所述气体入口端中的其中一个作为一选定气体入口端；及连接该选定气体入口端至该气体提供端。

10.如权利要求9所述的气体闸，还包括一管线，经配置以连接所述气体入口端至该气体提供端。

11.如权利要求10所述的气体闸，其中各气体入口端具有一电动阀，其与该控制器电耦合，且该控制器更经配设置以开启该选定气体入口端的电动阀，以连接该选定气体入口端至该气体提供端。

12.如权利要求11所述的气体闸，其中该控制器更经配设置以关闭除该选定气体入口端以外的气体入口端的电动阀。

13.如权利要求11所述的气体闸，其中该控制器更经配设置以依据一气体控制组态，决定该选定气体入口端的一流速参数；其中该选定气体入口端的电动阀将依据该流速参数开启。

14.如权利要求11所述的气体闸，其中该选定气体入口端的电动阀开启的期间是依据一气体控制组态。

15.如权利要求11所述的气体闸，其中该控制器更经配设置以决定一晶圆容器内的湿度或氧气浓度是否超过一阀值，其中湿度或氧气浓度是由该载入端装置的一感测器所感测；其中依据一气体控制组态，当湿度或氧气浓度超过阀值，该选定气体入口端将被选定。

16.一气体提供方法，包括：

通过一气体闸的一控制器，选定该气体闸的多个气体入口端中的其中一个作为一选定气体入口端，其中各气体入口端和一气体源连接；及

通过该控制器，连接该选定气体入口端至该气体闸的一气体提供端，其中该气体提供端和一载入端装置的一气体供应喷嘴连接。