[发明专利]一种流体喷射设备及其制作方法在审
| 申请号： | 202110763007.9 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN115588546A | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 张华 | 申请（专利权）人： | 上海傲睿科技有限公司 |
| 主分类号： | H01C13/00 | 分类号： | H01C13/00;H01C17/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流体喷射设备及其制作方法，该流体喷射设备包括基底层、第一电阻器层、导体层、第二电阻器层、保护层、流路层及喷孔层。本发明将导体层埋设于电阻器层中，导体层底端在电流经过时的电迁移将可以减弱，导体层原子在电致迁移的过程中，由单一的向下迁移变成了场式的多方位扩散过程，从而解决了导体层位于电阻器层一侧的电迁移的应力集中问题。另外，本发明可在第二电阻器层中形成过孔，焊盘材料填充进过孔中直接连接至导体层，可以避免焊盘材料和导体层材料在经过较大电流时产生接触过热问题发生烧毁。此外，本发明还可形成防污层于喷孔层表面，防污层可包括纳米微晶层，用于抵抗流体侵蚀以及喷孔维护时的物理摩擦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 喷射 设备 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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