[发明专利]检查装置和基片运送方法在审
| 申请号： | 202110757346.6 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113916901A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 时松彻;谷卓哉;村上孝 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/94;B65G47/74 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够提高检查基片的检查装置的吞吐量的检查装置和基片运送方法。检查装置包括：分别载置收纳基片的收纳容器第一、第二载置部；分别具有拍摄基片的拍摄单元的第一、第二检查部；设置有第一运送机构的第一运送区域，第一运送机构进行在载置于第一载置部的收纳容器与第一检查部之间运送基片的第一运送动作；和设置有第二运送机构的第二运送区域，第二运送机构进行在载置于第二载置部的收纳容器与第二检查部之间运送基片的第二运送动作，第一、第二载置部设置在俯视时彼此不重叠的位置，第一、第二检查部设置在俯视时彼此不重叠的位置，第一、第二运送区域设置在俯视时彼此不同的位置，以能够并行地进行第一、第二运送动作。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 运送 方法 | ||
【主权项】：
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