[发明专利]检查装置和基片运送方法

说明书

本发明提供能够提高检查基片的检查装置的吞吐量的检查装置和基片运送方法。检查装置包括：分别载置收纳基片的收纳容器第一、第二载置部；分别具有拍摄基片的拍摄单元的第一、第二检查部；设置有第一运送机构的第一运送区域，第一运送机构进行在载置于第一载置部的收纳容器与第一检查部之间运送基片的第一运送动作；和设置有第二运送机构的第二运送区域，第二运送机构进行在载置于第二载置部的收纳容器与第二检查部之间运送基片的第二运送动作，第一、第二载置部设置在俯视时彼此不重叠的位置，第一、第二检查部设置在俯视时彼此不重叠的位置，第一、第二运送区域设置在俯视时彼此不同的位置，以能够并行地进行第一、第二运送动作。

技术领域

本发明涉及检查装置和基片运送方法。

背景技术

专利文献1公开了基片处理系统中的基片的检查方法，该基片处理系统具有对基片实施规定的处理的多个处理装置。在该检查方法中，拍摄由处理装置进行处理前的基片的表面以获取第一基片图像，从第一基片图像抽取规定的特征量，存储有与各自不同的范围的特征量对应地设定的多个存储方案的存储部，选择与从第一基片图像抽取出的上述特征量对应的检查方案。然后，在该检查方法中，拍摄由处理装置进行了处理后的基片的表面以获取第二基片图像，基于所选择的检查方案和上述第二基片图像，判断基片是否存在缺陷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-212008号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明的技术提高检查基片的检查装置中的吞吐量。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一个方式为检查基片的检查装置，其包括：第一载置部和第二载置部，其分别载置收纳基片的收纳容器；第一检查部和第二检查部，其分别具有为检查基片而拍摄基片的拍摄单元；设置有第一运送机构的第一运送区域，其中，上述第一运送机构进行在载置于上述第一载置部的上述收纳容器与上述第一检查部之间运送基片的第一运送动作；和设置有第二运送机构的第二运送区域，其中，上述第二运送机构进行在载置于上述第二载置部的上述收纳容器与上述第二检查部之间运送基片的第二运送动作，上述第一载置部和上述第二载置部设置在俯视时彼此不重叠的位置，上述第一检查部和上述第二检查部设置在俯视时彼此不重叠的位置，上述第一运送区域和上述第二运送区域设置在俯视时彼此不同的位置，以能够并行地进行上述第一运送动作和上述第二运送动作。

发明效果

依照本发明，能够提高检查基片的检查装置中的吞吐量。

附图说明

图1是表示本实施方式的检查装置的结构的概要的俯视图。

图2是表示本实施方式的检查仓库的结构的概要的侧视图。

图3是表示本实施方式的检查装置的结构的概要的后视图。

图4是表示第一检查部的结构的概要的横截面图。

图5是表示第一检查部的结构的概要的纵截面图。

附图标记说明

13₁ 盒载置板

13₂ 盒载置板

13₃ 盒载置板

13₄ 盒载置板

20₁ 第一检查部

20₂ 第二检查部

110 拍摄单元

C 盒