[发明专利]制程技术评估的方法、系统及用于制程技术评估的方法在审
| 申请号： | 202110756900.9 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN114912399A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 欧纮誌;李国辅;陈文豪;张克正;张湘和 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/367 | 分类号： | G06F30/367 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 提供了一种制程技术评估的方法、系统及用于制程技术评估的方法，制程技术评估的方法包括：定义此制程技术评估的范围，该范围包含原始制程技术及第一制程技术；将集成电路中的第一物件模型化为电阻域及电容域；基于此模型化、此原始制程技术及此第一制程技术，产生第一电阻缩放因数及第一电容缩放因数；以及由电子设计自动化(electronic design automation,EDA)工具利用此第一电阻缩放因数及此第一电容缩放因数来进行该集成电路的模拟。此外，一种制程技术评估的系统及产生用于制程技术评估的新技术文件的方法亦在此揭露。 | ||
| 搜索关键词： | 技术 评估 方法 系统 用于 | ||
【主权项】：
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