[发明专利]一种含铌的金属有机化合物的制备方法及应用在审
申请号: | 202110750674.3 | 申请日: | 2021-07-02 |
公开(公告)号: | CN113387980A | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 胡昌锞;张学奇;唐超;朱思坤;李建恒 | 申请(专利权)人: | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
主分类号: | C07F9/00 | 分类号: | C07F9/00;C23C16/40;C23C16/455 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 刘慧 |
地址: | 230000 安徽省合肥市高新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明公开一种含铌的金属有机化合物的制备方法,具体包括以下步骤:S1、将NbCl |
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搜索关键词: | 一种 金属 有机化合物 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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