[发明专利]一种含铌的金属有机化合物的制备方法及应用在审

专利信息
申请号: 202110750674.3 申请日: 2021-07-02
公开(公告)号: CN113387980A 公开(公告)日: 2021-09-14
发明(设计)人: 胡昌锞;张学奇;唐超;朱思坤;李建恒 申请(专利权)人: 合肥安德科铭半导体科技有限公司
主分类号: C07F9/00 分类号: C07F9/00;C23C16/40;C23C16/455
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 刘慧
地址: 230000 安徽省合肥市高新*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种含铌的金属有机化合物的制备方法,具体包括以下步骤:S1、将NbCl5分散于甲苯中,然后加入少量醚,待固体全部溶解后得到体系Ⅰ;S2、将体系Ⅰ冷却,向体系Ⅰ缓慢滴加HNR2R3,滴加完毕后恢复室温并持续搅拌,形成体系Ⅱ;S3、控制体系Ⅱ温度,向体系Ⅱ中慢慢滴加R1NH2,搅拌形成体系Ⅲ;S4、将体系Ⅲ温度降低,向其中缓慢加入R4Li,搅拌形成体系Ⅳ;S5、将体系Ⅳ过滤,浓缩,得到体系Ⅴ;S6、将体系Ⅴ用非极性溶剂清洗、萃取,再过滤、浓缩、减压蒸馏,得到粗品R1N=Nb(NR2R3)3,精馏提纯后得到含铌的金属有机化合物。本发明制备方法产率高,反应时间短,步骤简单,且避免了使用毒性较大的吡啶原料。
搜索关键词: 一种 金属 有机化合物 制备 方法 应用
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