[发明专利]多光斑零位偏差标定方法在审
| 申请号： | 202110750603.3 | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN115561969A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 冯建斌;张建新 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种多光斑零位偏差标定方法，包括：提供基板，所述基板上具有至少四个测量点；调焦调平系统将同一光束依次投影到每个所述测量点上进行第一次测量，所述光束包含至少两个测量光斑，每次投影至所述测量点上时，同一个所述测量光斑与所述测量点对准，且至少获取一个所述测量光斑测量到的所述基板上对应位置的第一位置信息；将所述基板水平旋转180°，至少获取一个所述测量光斑测量到的所述基板上对应位置的第二位置信息；利用每个所述测量点对应的所述第一位置信息和所述第二位置信息计算出每个所述测量光斑的零位偏差值；本发明提高了多光斑的零位偏差的标定精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑 零位 偏差 标定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110750603.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
