[发明专利]一种双面电容型湿度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110743766.9 | 申请日： | 2021-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN113311031A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张倩;魏家贵;林树超;徐浩;倪烨;于海洋;袁燕;段英丽;胡杨端瑞;王君;张同 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 李昆蔚 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双面电容型湿度传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。本双面电容型湿度传感器，包括基片、第一电极层、第一感湿层、第二电极层和第二感湿层；所述第一电极层和所述第二电极层分别与所述基片的两面连接，所述第一感湿层覆盖在所述第一电极层上，所述第二感湿层覆盖在所述第二电极层上。本发明还提供上述双面电容型湿度传感器的制备方法。本双面电容型湿度传感器可双面湿度检测，能够更全面的对待测环境进行湿度检测，提高感湿效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 电容 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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