[发明专利]增透膜及其制备方法和光学元件在审

专利信息
申请号: 202110731658.X 申请日: 2021-06-30
公开(公告)号: CN113336450A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 刘勇;陈小群;朱斌 申请(专利权)人: 蓝思科技(长沙)有限公司
主分类号: C03C17/34 分类号: C03C17/34;G02B1/115
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 宋南
地址: 410100 湖南省长沙*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 本申请提供一种增透膜及其制备方法和光学元件。增透膜,包括基材以及依次层叠设置在所述基材表面的第一二氧化硅层、高/低折射率材料混合层、五氧化二铌层和第二二氧化硅层。增透膜的制备方法,包括:通过磁控溅射法依次在所述基材的表面镀覆所述第一二氧化硅层、所述高/低折射率材料混合层、所述五氧化二铌层和所述第二二氧化硅层。光学元件,包括所述的增透膜。本申请提供的增透膜,在400nm‑700nm透过率高,膜层数量少、膜厚度薄,加工效率高、成本低。
搜索关键词: 增透膜 及其 制备 方法 光学 元件
【主权项】:
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