[发明专利]一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置有效
| 申请号： | 202110729515.5 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113363405B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 程保龙;周文斌;沈倩;熊佩林;周丽婷;孙剑;高裕弟 | 申请（专利权）人： | 昆山梦显电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种显示面板的制备方法、显示面板及显示装置，显示面板的制备方法包括：提供驱动背板；在驱动背板上形成发光层；在发光层远离驱动背板的一侧形成薄膜封装层；薄膜封装层包括依次形成的第一无机层、第二无机层和第三无机层；第一无机层和第三无机层中的至少一层通过热原子层沉积方式和等离子体辅助原子层沉积方式交替循环沉积形成。本发明实施例提供的技术方案利用热原子层沉积方式和等离子体辅助原子层沉积方式交替循环沉积形成膜层时，原子层界面特性不同的特点，在保证有机发光材料和电极不受外界环境中水汽和氧气的侵蚀的同时，提高了薄膜封装层的透光率，以及显示器件的显示效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 面板 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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