[发明专利]一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵

摘要

本发明涉及排气设备技术领域，且公开了一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵，包括泵体，所述泵体的右腔固定安装有电机，所述电机的左端伸出有主轴，所述主轴的外表面且位于泵体的中腔固定套装有齿轮，所述齿轮在泵体中腔啮合有同尺寸另一个齿轮。该真空镀膜机排气系统用罗茨泵，通过分气槽弧形设置连通转子凸端的外表面，使得活动块回位挤出空气时，一部分空气从导气孔输送到分气槽内排出，从分气槽喷出的气流与回流的气流方向相反，进而改变回流气流方向，防止其回流，喷出的气体对泵体的内表面冲击，在注水降温过程中，能够将水吹走，减轻水垢结成，在添加盐酸清洗时，气体的冲击力能够将反应后的水垢吹掉，水垢清除更干净。