[发明专利]测试样品的制备方法及测试样品有效
| 申请号： | 202110709070.4 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113466267B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 李威;王娅茹 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/04;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本公开实施例公开了一种测试样品的制备方法及测试样品。所述方法包括：提供待处理结构；其中，待处理结构包括相对设置的第一表面和第二表面，目标结构位于待处理结构内部；沿垂直于第一表面的第一方向，确定目标结构的中线与待处理结构的中线之间的第n个偏移量；其中，n为自然数；当第n个偏移量不满足第一预设条件时，从第一表面或第二表面对待处理结构进行第n次第一类减薄，并在第n次第一类减薄之后，确定目标结构的中线与待处理结构的中线之间的第(n+1)个偏移量；当偏移量满足第一预设条件时，确定待处理结构沿第一方向的第一厚度；当第一厚度小于或等于第一预设厚度时，确定形成包括目标结构的测试样品。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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