[发明专利]一种复合膜层用BOE蚀刻液在审
| 申请号： | 202110709036.7 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113429974A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 戈烨铭;何珂;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;C09K13/08 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 苏玲 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种复合膜层用BOE蚀刻液，按照质量百分比包括以下组分：氢氟酸0.5％～2％、氟化铵25％～30％、添加剂0.004%~0.01%、超纯水67.99％～74.496%，其中添加剂为正辛酸。本发明的复合膜层用BOE蚀刻液可用于单一基材的同时可兼顾复合基材，通过调整表面张力，即可同时兼顾CD lose和所需角度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 膜层用 boe 蚀刻 | ||
【主权项】：
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