[发明专利]一种近红外导电滤光片的镀膜方法在审
| 申请号： | 202110708485.X | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113529034A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 马国水;耿煜;李爽;汪洋 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;G02B1/08 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学技术领域，尤其是一种近红外导电滤光片的镀膜方法，该镀膜方法在一镀膜空间内于基板的一侧表面进行滤光层的镀制；完成后，使滤光层及镀膜空间冷却；在一定预设温度的镀膜空间内，将ITO层镀制于滤光层的一侧表面上，在ITO层的镀制过程中，向镀膜空间内通入预设量的氧气和氢气。本发明的优点是：制得的近红外导电滤光片在红外波段具有较高透过率的同时，具有较低的面电阻；镀膜方法可控，具有较广的应用范围，利于工业生产，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 导电 滤光 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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