[发明专利]一种基于磁性隧道结的太赫兹波调制器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110708169.2 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113437211A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 金钻明;朱亦鸣;彭滟;庄松林;倪洋洋 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 余娜 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于磁性隧道结的太赫兹波调制器，包括：衬底及固定于所述衬底上的复合膜异质结构；所述复合膜异质结构包括固接于衬底上的反铁磁钉扎层、固定于所述反铁磁钉扎层上的第一铁磁层、固定于所述第一铁磁层上的绝缘层、固定于所述绝缘层上的第二铁磁层及固定于所述第二铁磁层上的覆盖层。根据本发明，本太赫兹调制器工作范围宽，尺寸小巧，使用较弱的磁场就可以实现对太赫兹波的大幅度调制。兼容半导体工艺技术，可以方便地实现大规模制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁性 隧道 赫兹 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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