[发明专利]一种垂直膜面方向具有硬磁性能且在面内方向具有软磁性能的磁性薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110708000.7 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113539607B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 于广华;刘冕宸;徐秀兰;冯春;滕蛟;李明华 | 申请（专利权）人： | 广东麦格智芯精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01F10/16 | 分类号： | H01F10/16;H01F10/14;H01F41/18 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种垂直膜面方向具有硬磁性能且在面内方向具有软磁性能的磁性薄膜及其制备方法，属于磁性薄膜制备技术领域。本发明所述磁性薄膜是利用磁控溅射仪于室温下在基底材料上沉积而成，包括从下而上依次层叠的基底、AlNiCo永磁合金和Ag。所述制备方法包括：利用磁控溅射仪于室温条件下通过直流溅射金属靶材，在基底材料上依次沉积AlNiCo永磁合金和Ag；再将薄膜材料从磁控溅射仪中取出，放入超高真空退后炉中，在真空度优于5.0×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 垂直 方向 具有 磁性 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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