[发明专利]一种光刻胶及图案化方法有效
| 申请号： | 202110707464.6 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113341650B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 霍建辉;卢克军;张宁 | 申请（专利权）人： | 北京北旭电子材料有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光刻胶及图案化方法，属于光刻技术领域。光刻胶包括树脂材料和感光剂，树脂材料发生去保护反应时能够产生羧酸和/或酚羟基。感光剂包括第一感光化合物和第二感光化合物，第一感光化合物的结构如式I所示，第二感光化合物如式II所示。图案化方法包括：采用光刻胶形成光刻胶层，并采用包括G线、H线和I线的混合光源通过掩模板对光刻胶层进行曝光，然后显影去除光刻胶层的曝光部分形成光刻胶图案。光刻胶在具有较好的光敏性和固化后透过率的情况下，能够兼具较好的曝光后环境稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 图案 方法 | ||
【主权项】：
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