[发明专利]一种光刻胶及图案化方法

权利要求书

1.一种光刻胶，其特征在于，包括树脂材料和感光剂，所述树脂材料发生去保护反应时能够产生羧酸和/或酚羟基，所述感光剂包括第一感光化合物和第二感光化合物，所述第一感光化合物的结构如式I所示，所述第二感光化合物如式II所示；

其中，R₁、R₂、R₃和R₄中的至少三者的结构如式III或式IV所示，剩余为氢基；R₅为烷基或芳香基；R₆为烷基、烷氧基或芳香基；

所述树脂材料为单体共聚物，所述单体共聚物的单体包括第一单体和第二单体中的至少一种，所述第一单体的结构如式V所示，所述第二单体的结构如式VI所示；

其中，R₇为C4～C20的叔烷基；R₈为氢基或C1～C4的烷基；n为1～10的整数。

2.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述第二感光化合物在所述感光剂中的质量占比为10～20％，所述第一感光化合物在所述感光剂中的质量占比为80～90％。

3.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述单体共聚物的单体还包括第三单体和第四单体，所述第三单体的结构如式VII所示，所述第四单体的结构如式VIII所示；

其中，R₉为氢基或C1～C4的烷基。

4.根据权利要求3所述的光刻胶，其特征在于，所述第一单体在所述单体共聚物的单体中的质量占比为5～40％，所述第二单体在所述单体共聚物的单体中的质量占比为5～40％。

5.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述树脂材料的重均分子量为5000～100000，所述树脂材料的分子量分布为2～5。

6.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述树脂材料的重均分子量为5000～50000。

7.根据权利要求1～6任一项所述的光刻胶，其特征在于，所述树脂材料和所述感光剂的质量比为100:0.5～10。

8.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述光刻胶还包括有机碱。

9.根据权利要求8所述的光刻胶，其特征在于，所述有机碱包括含氮化合物。

10.根据权利要求8所述的光刻胶，其特征在于，所述有机碱包括一级脂肪胺、二级脂肪胺、三级脂肪胺、芳香胺、杂环胺、含氮化合物、酰胺衍生物和酰亚胺衍生物中的至少一种。

11.根据权利要求8所述的光刻胶，其特征在于，所述树脂材料和所述有机碱的质量比为100:0.001～0.05。

12.一种图案化方法，其特征在于，包括：采用如权利要求1～11任一项所述的光刻胶形成光刻胶层，并采用包括G线、H线和I线的混合光源通过掩模板对所述光刻胶层进行曝光，然后显影去除所述光刻胶层的曝光部分形成光刻胶图案。