[发明专利]一种卧式石英舟清洗设备有效
| 申请号： | 202110705058.6 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113560265B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 周尤;段昧存;韦树喜 | 申请（专利权）人： | 安徽万维克林精密装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 安徽顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 徐文恭 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种卧式石英舟清洗设备，包括清洗箱、驱动箱和电控箱，清洗箱的侧端固定有电控箱，顶端固定有驱动箱；其特征在于：清洗箱的内腔底部设有并排分布的水洗槽安装室和酸洗槽安装室，水洗槽安装室中安装有水洗槽，酸洗槽安装室中安装有酸洗槽；清洗箱、驱动箱的内部共同安装有能够实现石英舟工件在水洗槽、酸洗槽之间切换的机械手载具；机械手载具包括导向轨座、活动式龙门架、水平位移导向机构、水平位移驱动机构、竖向位移驱动机构和吊具组件。本发明结构设计合理，整个清洗工艺过程中石英舟可进行滚动，与清洗液之间产生相对运动，使石英舟因能够得到全面的清洗，清洗效果较好，避免造成扩散工艺过程的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 石英 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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