[发明专利]一种卧式石英舟清洗设备

权利要求书

1.一种卧式石英舟清洗设备，包括清洗箱、驱动箱和电控箱，所述清洗箱的侧端固定有电控箱，顶端固定有驱动箱；其特征在于：所述清洗箱的内腔底部设有并排分布的水洗槽安装室和酸洗槽安装室，所述水洗槽安装室中安装有水洗槽，所述酸洗槽安装室中安装有酸洗槽；所述清洗箱、驱动箱的内部共同安装有能够实现石英舟工件在水洗槽、酸洗槽之间切换的机械手载具；

所述机械手载具包括导向轨座、活动式龙门架、水平位移导向机构、水平位移驱动机构、竖向位移驱动机构和吊具组件，所述导向轨座共有两个且平行固定于清洗箱的顶部，所述活动式龙门架的底侧两端部分别与对应的导向轨座通过水平位移导向机构进行滑动连接，所述活动式龙门架的底部安装有能够带动其进行水平位移的水平位移驱动机构，所述活动式龙门架上对称设有两个能够独立动作的竖向位移驱动机构，所述活动式龙门架通过两个竖向升降机构共同安装有吊具组件；

所述水平位移导向机构为由轨条和滑块构成的直线导轨副，所述滑块固定于活动式龙门架的底侧端部处，所述轨条固定于导向轨座上；

所述水平位移驱动机构包括水平位移驱动电机、水平位移驱动轴、驱动齿轮和齿条，所述水平位移驱动电机的输出轴经皮带轮与水平位移驱动轴进行传动连接，所述水平位移驱动轴由活动式龙门架提供转动支撑，所述导向轨座的内侧沿其长度方向固定有齿条，所述水平位移驱动轴的轴体固定有与齿条啮合的驱动齿轮；

所述竖向位移驱动机构包括竖向位移驱动电机、转向齿轮组、驱动丝杆、从动丝杆套、安装板、导向杆和导向套，所述竖向位移驱动电机固定于活动式龙门架的顶板外侧，所述驱动丝杆沿竖直方向设置且由活动式龙门架提供转动支撑，所述活动式龙门架位于驱动丝杆的两侧对称固定有导向杆，所述竖向位移驱动电机的输出轴经转向齿轮组与驱动丝杆进行传动连接，所述驱动丝杆的外侧套设有与其啮合的从动丝杆套，所述导向杆的套设有能够沿其轴向进行滑动的导向套，所述从动丝杆套、导向套共同固定于安装板的内侧，所述安装板的外侧固定有便于固定安装吊具组件用的安装框。

2.根据权利要求1所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述水洗槽、酸洗槽均为开口位于上侧的开口槽，所述开口槽的底板内侧对称固定有两排支撑座，每排所述支撑座中转动支撑有一根支撑轴，所述支撑轴的轴体上固定有用于对放入其内的石英舟工件提供滚动支撑用的支撑辊轮。

3.根据权利要求2所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述开口槽位于支撑轴的外围区域固定有喷淋管，所述开口槽的侧板靠近底部设有带开度阀的排液管。

4.根据权利要求2所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述开口槽位于与支撑轴垂直的两侧板对称开设有环形轨座，所述环形轨座中安装有能够带动槽体水平位移以提高清洗效果的轨轮。

5.根据权利要求1所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述吊具组件包括竖向吊杆、连接头、横向吊杆和吊钩，所述竖向吊杆的顶端与安装框固定，底端经连接头与横向吊杆连接，所述横向吊杆上安装有若干吊钩。

6.根据权利要求5所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述连接头的底端开设有便于卡入横向吊杆的卡槽，所述卡槽卡入横向吊杆后其上方留有便于横向吊杆作倾斜动作的活动空间；所述连接头位于卡槽上方处穿设有第一螺栓，所述竖向吊杆的底端开设有相配合的圆穿孔，所述连接头位于卡槽处穿设有第二螺栓，所述横向吊杆上开设有便于其作倾斜动作的腰形穿孔。