[发明专利]一种光转换紫外光束分析仪的制备方法在审
| 申请号： | 202110704623.7 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113405995A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 郭素文;郑岩;王宏志;侯成义;张志军;刘洁;刘志福 | 申请（专利权）人： | 上海洞舟实业有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/33 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201619 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光转换紫外光束分析仪的制备方法；其包括：滤光片、紫外探测透明陶瓷片、CCD图像处理器；特征在于将经过处理后的紫外探测透明陶瓷片封装在CCD图像处理器表面，然后在紫外探测透明陶瓷片表面覆盖可见光滤光片，采用感光胶封装器件；当紫外光通过滤光片后在紫外探测透明陶瓷片表面被转换成可见光，然后被CCD感光芯片接受，通过光电转换系统将可见光光斑记录下来，通过对光斑的处理可计算出紫外光在传输过程中的稳定性以及损耗；可用于制造光刻机中的能量控制器，光束形状设置器等检测设备，可实现对大功率的DUV以及EUV激光的光束分析；该技术在激光通信、光束分析、激光校准等领域有比较广泛的应用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转换 紫外 光束 分析 制备 方法 | ||
【主权项】：
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