[发明专利]一种光转换紫外光束分析仪的制备方法

说明书

一种光转换紫外光束分析仪的制备方法；其包括：滤光片、紫外探测透明陶瓷片、CCD图像处理器；特征在于将经过处理后的紫外探测透明陶瓷片封装在CCD图像处理器表面，然后在紫外探测透明陶瓷片表面覆盖可见光滤光片，采用感光胶封装器件；当紫外光通过滤光片后在紫外探测透明陶瓷片表面被转换成可见光，然后被CCD感光芯片接受，通过光电转换系统将可见光光斑记录下来，通过对光斑的处理可计算出紫外光在传输过程中的稳定性以及损耗；可用于制造光刻机中的能量控制器，光束形状设置器等检测设备，可实现对大功率的DUV以及EUV激光的光束分析；该技术在激光通信、光束分析、激光校准等领域有比较广泛的应用场景。

技术领域

本发明属于光激励发光材料制备及应用技术。

背景技术

在近年新兴发展的激光微细加工、医用激光源诊断治疗、激光雷达、惯性约束 核聚变等高新技术中，对于激光光束聚焦程度，光束模式等光束质量提出了更为严格的要求，这对于用来衡量激光光束质量，表征激光光束传输特性的激光空域参数的准确有效测量提出了更高要求。常规的用于分析激光束的装置包括旋转针，旋转针将聚焦激光束的少量样本反射进检测器。当针旋转时，它沿着光轴移动并且测量聚焦激光束的束腰，该方法的缺点是装置笨重并且需要许多移动部件。因此不利于激光束的快速和实时地分析。

随着生产制造业的不断发展，激光的应用领域越来越广泛。比如通过测量光斑坐标的稳定性，可以间接测量激光打标头的稳定性；在光学领域，对聚焦光斑的分析可被用来评估透镜或所设计光学系统对光束的作用效果，为产品的质量改善提供指导；在手机壳、玩具等各类塑料、玻璃、金属等材料 的激光打标、切割、焊接领域中，都需要预先分析激光的光斑质量以改进工艺或者提高良品率等等，目前的光束分析大多采用国外系统，价格高昂。此外，测试时需要测试者手动截图并自己撰写测试报告，较为繁琐。

本发明公布了一种光转换紫外光束分析仪的制备方法；其包括：滤光片、紫外探测透明陶瓷片、CCD图像处理器；特征在于将经过处理后的紫外探测透明陶瓷片封装在CCD图像处理器表面，然后在紫外探测透明陶瓷片表面覆盖可见光滤光片，采用感光胶封装器件；当紫外光通过滤光片后在紫外探测透明陶瓷片表面被转换成可见光，然后被CCD感光芯片接受，通过光电转换系统将可见光光斑记录下来，通过对光斑的处理可计算出紫外光在传输过程中的稳定性以及损耗，调整光斑形状及尺寸；可用于制造光刻机中的能量控制器，光束形状设置器等检测设备，可实现对大功率的DUV以及EUV激光的光束分析；该技术在激光通信、光束分析、激光校准等领域有比较广泛的应用场景。

本发明可以实现可视化的紫外激光检测，其吸收波段范围为10nm-200nm，其发射波段为530nm-660nm，可根据CCD的感光峰值匹配不同的紫外探测透明陶瓷片，陶瓷致密度可达到90%-100%，使得紫外探测透明陶瓷片在光转换的过程有较高的转换效率，同时在光斑成像的过程中更加容易形成高精度的显示，对于激光成像以及光束分析有较高的优势应用。同时可实现10Mw-30W不同功率的激光器探测，具有操作简单，成本低，可视化的优点。

发明内容

一种光转换紫外光束分析仪的制备方法；其包括：滤光片、紫外探测透明陶瓷片、CCD图像处理器；特征在于将经过处理后的紫外探测透明陶瓷片封装在CCD图像处理器表面，然后在紫外探测透明陶瓷片表面覆盖可见光滤光片，采用感光胶封装器件；当紫外光通过滤光片后在紫外探测透明陶瓷片表面被转换成可见光，然后被CCD感光芯片接受，通过光电转换系统将可见光光斑记录下来，通过对光斑的处理可计算出紫外光在传输过程中的稳定性以及损耗；可用于制造光刻机中的能量控制器，光束形状设置器等检测设备，可实现对大功率的DUV以及EUV激光的光束分析；该技术在激光通信、光束分析、激光校准等领域有比较广泛的应用场景。