[发明专利]沉积装置在审
| 申请号： | 202110703258.8 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113881916A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李荣光 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种包括掩模组件的沉积装置。该掩模组件包括：框架，其中限定框架开口；多个支承棒，与框架联接以与框架开口重叠，多个支承棒中的每个在第一方向上延伸，并且支承棒在与第一方向相交的第二方向上布置；以及掩模，在框架和支承棒上，并且在第二方向上延伸，并且支承棒具有约10emu/g或更大并且约100emu/g或更小的磁矩。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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