[发明专利]一种超硬质多层纳米复合涂层制备方法在审
| 申请号： | 202110690928.7 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113403578A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 吴志威;周滔 | 申请（专利权）人： | 南京工业职业技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京灿烂知识产权代理有限公司 32356 | 代理人： | 朱妃 |
| 地址： | 210023 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种超硬质多层纳米复合涂层制备方法，包括以下步骤：1)对基材进行镜面抛光和超声清洗；2)运用氩离子刻蚀清洗基材表面；3)沉积过渡Cr层；4)沉积CrN层；5)沉积CrTiSiN层。所述步骤1)对基材进行镜面抛光和超声清洗，具体为，基材在金相抛光机上进行镜面抛光，先用w20金刚石粉配合粗抛帆布进行粗抛，然后用w2.5金刚石粉配合精抛绒布进行精抛，基材精抛清洗干净后，在酒精溶液中进行超声清洗20～30分钟。处于较低的Si含量范围，更容易获得超硬硬度值；将涂层与Al |
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| 搜索关键词： | 一种 硬质 多层 纳米 复合 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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