[发明专利]光束偏振变化测量装置及其测量方法有效
| 申请号： | 202110685062.0 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113686444B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 田传山;苏雨聃;马骏颖 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑振 |
| 地址： | 200443 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本公开的各实施例涉及提供了一种光束偏振变化测量装置及其方法。该装置包括：光源装置，其用于发射预定波长的检测光束；起偏装置，其用于使检测光束起偏，并且将起偏后的偏振光入射至待测样品；检偏装置，其用于接收从待测样品透射或反射的光，并且将经透射或反射的光分解成两束偏振方向相互正交的第一偏振光束和第二偏振光束；平衡探测装置，其适于探测所述第一偏振光束和第二偏振光束之间的光强差，以便基于所述光强差测量所述待测样品所引起的偏振变化；以及温控装置，其适于检测和控制所述起偏装置的环境温度，并且将所述起偏装置的环境温度抖动控制在±0.03度的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 偏振 变化 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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