[发明专利]基于高结晶度掺杂压电薄膜的声波谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110684256.9 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113346866B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 左成杰;林福宏;吴梓莹;杨凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/17;H03H3/04;H03H3/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于高结晶度掺杂压电薄膜的声波谐振器，该声波谐振器包括：衬底；种子层，设置在衬底上，衬底与种子层形成布拉格反射结构；掺杂层，设置在种子层上；金属电极，设置在掺杂层上；其中，种子层用于增加掺杂层与衬底之间的晶格匹配度，以及用于反射掺杂层发射的声波。本发明还提供一种上述声波谐振器的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 结晶度 掺杂 压电 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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