[发明专利]晶圆图识别方法、装置及可读介质在审
| 申请号： | 202110682913.6 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113256612A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 陈培培;王政航;马苗苗;吴大海;黄涛 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62 |
| 代理公司： | 北京海智友知识产权代理事务所(普通合伙) 11455 | 代理人： | 吴京顺 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供了一种晶圆图识别方法、装置以及可读介质。晶圆图包括由分布于晶圆中的多个缺陷晶粒形成的图案，该晶圆图识别方法包括：根据缺陷晶粒位于晶圆中的位置编号，形成待识别集合；确定待识别集合与多个参考集合之间的多个相似度，其中，每个参考集合包括对应的参考晶圆图中的多个缺陷晶粒的位置编号，并且每个参考晶圆图为由分布于参考晶圆中的多个缺陷晶粒形成的参考图案；以及响应于多个相似度中的最大值大于预设的相似阈值，将晶圆图的类别确定为最大值对应的参考晶圆图的类别。本申请提供的晶圆图识别方法、装置以及可读介质，可提高晶圆图识别效率，减少人力成本的投入。此外，该方法算法简单，可解释性强。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆图 识别 方法 装置 可读 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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