[发明专利]一种双坩埚蒸发源在审
| 申请号： | 202110678544.3 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113388884A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 肖文德;乔璐;李骥;彭祥麟;姚裕贵 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | C30B23/06 | 分类号： | C30B23/06;C23C14/26;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨常建 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双坩埚蒸发源，该双坩埚蒸发源的法兰组件包括真空法兰以及电极；水冷组件包括两个水冷管以及固定连接于两个水冷管顶端的水冷台；坩埚组件固定安装于水冷台的顶部，包括固定连接于水冷台的坩埚隔板、固定连接于坩埚隔板两侧的坩埚台、固定安装于每个坩埚台的坩埚台帽、置于每个坩埚台内的坩埚、以及固定连接于坩埚隔板上的坩埚罩；坩埚的加热单元与电极之间电连接，一个加热单元为电阻式加热单元，另一个加热单元为电子束加热单元；快门组件包括磁耦合旋转器、长杆以及快门。上述双坩埚蒸发源能够同时设置电阻式加热和电子束加热两种加热方式，无需频繁更换蒸发源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 蒸发 | ||
【主权项】：
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