[发明专利]条状硅材的开方截断工艺及其应用在审
| 申请号： | 202110677926.4 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113320036A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 邓舜;马琦雯 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;H01L21/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种条状硅材的开方截断工艺，包括如下步骤：将条状硅材切割成条状硅板；将多个条状硅板层叠粘接成硅板组；沿各切割参考面将硅板组切割成多个硅板组小段；对硅板组小段进行倒角处理，使硅板组小段中各硅板小段的四角形成倒角。本发明还提供一种条状硅材的切片前处理工艺，其将完成倒角处理的硅板组小段层叠粘接成棒状硅块。本发明还提供一种条状硅材的切片工艺，其对棒状硅块进行切片，将棒状硅块切割出硅片。本发明能提高半圆柱体状小硅锭的开方截断效率，进而提高半圆柱体状小硅锭的切片效率，最终提高半圆柱体状小硅锭制备硅片的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 条状 开方 截断 工艺 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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