[发明专利]集成硅基布拉格反射器的合分波器件及制备方法有效
| 申请号： | 202110675194.5 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN113376748B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 陈寅芳;徐长达;陈少康;李明;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种集成硅基布拉格反射器的合分波器件及制备方法，该器件包括：衬底；滤波用布拉格反射器，形成于衬底上，用于对输入光进行滤波；反射用布拉格反射器，形成于衬底上，用于对经滤波用布拉格反射器滤波的输出光进行反射；增透用布拉格反射器，形成于衬底上，用于对经反射用布拉格反射器反射的反射光进行透射。本公开提供的集成硅基布拉格反射器的合分波器件及制备方法，工艺流程简单，能够一次性大规模生产不同种类需求的合分波器件。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 布拉格 反射 合分波 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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