[发明专利]检测设备和检测方法在审
申请号: | 202110668205.7 | 申请日: | 2021-06-16 |
公开(公告)号: | CN115479944A | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 陈鲁;胡诗铭;刘健鹏;张鹏斌;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/956;G01N21/01 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 邵泳城 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请实施方式提供一种的检测设备和检测方法。检测设备包括光发射器、第一分光组件、第二分光组件和传感器。光发射器用于发射参考光和检测光;第一分光组件用于将参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光,第一状态和第二状态不同;第二分光组件用于将检测光分为第一状态的第一检测光和第二状态的第二检测光,第一检测光和第二检测光入射待测件的角度不同;传感器用于接收第一参考光和第二参考光,并接收被待测件反射的第一检测光和第二检测光,以生成检测图像。通过传感器生成的检测图像,可准确地区分不同角度的检测光的图像,进而更为完整地获取待测件的信息,检测效果较好。 | ||
搜索关键词: | 检测 设备 方法 | ||
【主权项】:
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