[发明专利]检测设备和检测方法

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

光发射器，用于发射参考光和检测光；

第一分光组件，用于将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；

第二分光组件，用于将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光，所述第一检测光和所述第二检测光入射待测件的角度不同；

传感器，用于接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被所述待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括第一分光器，所述第一分光器用于将光发射器发出的激光分为所述参考光和所述检测光；或者，所述光发射器为两个，两个所述光发射分别发射所述参考光和所述检测光。

3.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一状态包括第一偏振态，所述第二状态包括第二偏振态，所述第一分光组件包括第一偏振分光器、第一反射器、第二反射器和第三反射器，所述参考光进入所述第一偏振分光器后，被分为所述第一偏振态的所述第一参考光和所述第二偏振态的所述第二参考光，所述第一反射器和第三反射器配合以调节所述第一参考光入射所述传感器的角度；所述第二反射器和第三反射器配合以调节所述第二参考光入射所述传感器的角度。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述第一分光组件还包括第一衰减器，所述第一衰减器设置在第一反射器和所述第一偏振分光器之间，以调节所述第一参考光的强度。

5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一状态包括第一偏振态，所述第二状态包括第二偏振态，所述第二分光组件包括第二偏振分光器、第四反射器和第五反射器，所述检测光进入所述第二偏振分光器后，被分为所述第一偏振态的所述第一检测光和所述第二偏振态的所述第二检测光，所述第一检测光被所述第四反射器反射后，照射所述待测件，所述第二检测光被所述第五反射器反射后，照射所述待测件。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，被所述第四反射器反射的所述第一检测光倾斜或垂直入射所述待测件，被所述第五反射器反射的所述第二检测光倾斜入射所述待测件。

7.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述第二分光组件还包括第二衰减器，所述第二衰减器设置在所述第二偏振分光器和所述第四反射器之间，以调节所述第一检测光的强度。

8.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测光的强度小于所述第二检测光的强度。

9.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测光和所述第二检测光在所述待测件的照射范围重叠。

10.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测光的强度和所述参考光的强度的比值为1:1。

11.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述传感器包括时间延迟积分线阵相机，所述时间延迟积分线阵相机的长轴垂直所述第一参考光和所述第一检测光在所述检测图像中形成的第一干涉条纹、及所述第二参考光和第二检测光在所述检测图像中形成的第二干涉条纹。

12.根据权利要求11所述的检测设备，其特征在于，所述待测件设置在运动平台，所述运动平台的运动方向垂直所述长轴方向。

13.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一状态包括第一波长，所述第二状态包括第二波长，所述第一波长和所述第二波长不相同。