[发明专利]检测设备和检测方法

说明书

本申请实施方式提供一种的检测设备和检测方法。检测设备包括光发射器、第一分光组件、第二分光组件和传感器。光发射器用于发射参考光和检测光；第一分光组件用于将参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，第一状态和第二状态不同；第二分光组件用于将检测光分为第一状态的第一检测光和第二状态的第二检测光，第一检测光和第二检测光入射待测件的角度不同；传感器用于接收第一参考光和第二参考光，并接收被待测件反射的第一检测光和第二检测光，以生成检测图像。通过传感器生成的检测图像，可准确地区分不同角度的检测光的图像，进而更为完整地获取待测件的信息，检测效果较好。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种检测设备和检测方法。

背景技术

目前，在进行工件的检测时，通常使用照明光源照射待测件，以使得图像传感器能够获取较为清晰的待测件图像，以对待测件进行检测，然而，对于表面具有立体结构的待测件而言，由于存在光源照射的死角，导致待测件的信息采集不全，影响待测件的检测效果。

发明内容

本申请实施方式提供一种检测设备和检测方法。

本申请实施方式的检测设备包括光发射器、第一分光组件、第二分光组件和传感器。所述光发射器用于发射参考光和检测光；所述第一分光组件用于将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；所述第二分光组件用于将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光，所述第一检测光和所述第二检测光入射待测件的角度不同；所述传感器用于接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被所述待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。

本申请实施方式的检测方法发射参考光和检测光；将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光，所述第一检测光和所述第二检测光入射待测件的角度不同；接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被所述待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。

本申请实施方式的检测设备中，通过光发射器发射参考光和检测光，然后通过第一分光组件将参考光分为第一状态和第二状态的参考光，通过第二分光组件将检测光分为照射待测件的第一状态和第二状态的检测光，且第一状态和第二状态的检测光入射待测件的角度不同，以分别对待测件进行不同角度的照射，减少光线照射的死角，且入射到传感器的相同状态的参考光和检测光会形成干涉条纹，而不同状态的参考光和检测光形成的干涉条纹不同，从而能够从传感器生成的检测图像中，准确地区分不同角度的检测光的图像，进而更为完整地获取待测件的信息，检测效果较好。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；

图2是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的检测图像的平面示意图；

图4是本申请某些实施方式的明场图像的平面示意图；

图5是本申请某些实施方式的暗场图像的平面示意图；及

图6是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。