[发明专利]多晶硅清洗装置在审
| 申请号： | 202110667440.2 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113319058A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 石何武;张升学;章莉;郑红梅;杨永亮 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/12;B08B3/08;B08B5/02;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 曲进华 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种多晶硅清洗装置包括清洗间，所述清洗间的进口处设有用于形成第一风淋防护门的第一喷气口，所述清洗间内设有清洗槽，所述清洗间具有惰性气体进口和废气出口，干燥间，所述清洗间的出口与所述干燥间的进口连通，所述干燥间的出口设有用于形成第二风淋防护门的第二喷气口，所述干燥间内设有干燥装置；和移动装置，所述移动装置包括第一机械臂和第二机械臂，所述第一机械臂可移动地设在所述清洗间内，所述第二机械臂可移动地设在所述干燥间内。因此，根据本发明实施例的多晶硅清洗装置具有降低人工劳动强度、便于多晶硅的清洗和包装，以及通过高密闭性从而防止多晶硅受到污染的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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