[发明专利]一种耐高温AlN/ZnO纳米复合压电涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及涂层材料的技术领域，具体涉及一种耐高温AlN/ZnO纳米复合压电涂层及其制备方法，AlN/ZnO纳米复合压电涂层采用梯度层结构，由内至外包括依次设置的结合层、过渡层、压电功能层和保护层，结合层为纯金属Al层，过渡层为Al/AlN纳米多层膜，压电功能层为AlN/ZnO纳米多层膜，保护层为AlON/Al2O3纳米多层膜。本发明所制备的耐高温AlN/ZnO复合压电涂层具有高硬度、高耐磨和高结合力特性，可以保证压电功能涂层在各种合金螺栓表面进行长期稳定的工作，减少其失效的可能性。同时其制备技术和设备和现有工业设备比较接近，工业生产批量容易实现，加工效率较高，可以大幅度降低厂家的生产成本。