[发明专利]掩模组件在审
| 申请号： | 202110652039.1 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113802090A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 金相勋;金宗范;姜延姝;朴钟圣;李相信;李丞赈;郑恩汀 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刘钊;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种掩模组件包括掩模和阻挡杆。所述掩模包括其中形成有开口的图案区域并且在第一方向上延伸。所述阻挡杆设置在所述掩模下面并且与所述掩模的第一侧部重叠。所述掩模进一步包括伪开口区域和开口区域。所述伪开口区域在所述第一方向上布置在所述掩模的所述第一侧部上，并且其中形成有开口。所述开口区域在所述第一方向上布置在所述掩模的与所述第一侧部相对的第二侧部上，并且分别对应于所述伪开口区域。所述伪开口区域和所述开口区域的每一个中的每单位面积的开口数量小于所述图案区域中的每单位面积的开口数量。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 | ||
【主权项】：
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