[发明专利]掩模组件在审

专利信息
申请号: 202110652039.1 申请日: 2021-06-11
公开(公告)号: CN113802090A 公开(公告)日: 2021-12-17
发明(设计)人: 金相勋;金宗范;姜延姝;朴钟圣;李相信;李丞赈;郑恩汀 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/12;H01L51/56;H01L27/32
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 刘钊;周艳玲
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 模组
【说明书】:

一种掩模组件包括掩模和阻挡杆。所述掩模包括其中形成有开口的图案区域并且在第一方向上延伸。所述阻挡杆设置在所述掩模下面并且与所述掩模的第一侧部重叠。所述掩模进一步包括伪开口区域和开口区域。所述伪开口区域在所述第一方向上布置在所述掩模的所述第一侧部上,并且其中形成有开口。所述开口区域在所述第一方向上布置在所述掩模的与所述第一侧部相对的第二侧部上,并且分别对应于所述伪开口区域。所述伪开口区域和所述开口区域的每一个中的每单位面积的开口数量小于所述图案区域中的每单位面积的开口数量。

技术领域

本公开的各实施例一般涉及一种掩模组件。更特别地,本公开的各实施例涉及一种用于沉积有机发光层的掩模组件。

背景技术

平板显示设备由于其轻量且薄的特性而被用作代替阴极射线管显示设备的显示设备。作为这种平板显示设备的代表性示例,有液晶显示设备和有机发光二极管显示设备。

有机发光二极管显示设备可以包括用于通过显示设备的第一表面显示图像的显示区域和其中光学模块设置在显示设备的第二表面上的模块区域。最近,可以在模块区域中设置有机发光层,使得即使在模块区域中也可以显示图像。在此情况下,由于光学模块需要通过使用从第一表面入射的外部光来操作,因此可以在模块区域中形成透射窗口,使得外部光可以穿过有机发光二极管显示设备。外部光可以通过透射窗口穿过有机发光二极管显示设备。例如,显示区域可以包括以等距间隔布置并且在其中分别形成有有机发光层的像素区域,并且模块区域可以包括在其中分别形成有有机发光层的像素区域以及在其中分别形成有透射窗口的透射区域。换句话说,显示区域和模块区域中的每单位面积的像素区域的数量可以彼此不同。

可以使用精细金属掩模来沉积有机发光层,并且可以在掩模中形成多个开口。开口可以对应于像素区域。在此情况下,对应于有机发光二极管显示设备的显示区域的部分被定义为掩模的第一部分,并且对应于有机发光二极管显示设备的模块区域的部分被定义为掩模的第二部分。由于显示区域和模块区域中的每单位面积的像素区域的数量彼此不同,因此掩模的第一部分和第二部分中的每单位面积的开口的数量可以彼此不同。当掩模被拉伸并固定到框架时,由于第一部分和第二部分中的每单位面积的开口的数量彼此不同,因此可能发生掩模的变形(例如,弯曲现象),并且有机发光层可能不被精确地形成在像素区域的每一个中。因此,需要开发一种新颖的掩模组件以基本上无变形地沉积有机发光层。

发明内容

一些实施例提供一种用于沉积有机发光层的掩模组件。

根据一些实施例,掩模组件包括掩模和阻挡杆。所述掩模包括其中形成有开口的图案区域,并且在第一方向上延伸。所述阻挡杆设置在所述掩模下面,并且与所述掩模的第一侧部重叠。所述阻挡杆在所述第一方向上延伸。所述掩模进一步包括伪开口区域和开口区域。所述伪开口区域在所述第一方向上布置在所述掩模的所述第一侧部上,并且在其中形成有开口。所述开口区域在所述第一方向上布置在所述掩模的与所述第一侧部相对的第二侧部上,并且分别对应于所述伪开口区域。所述开口区域在其中形成有开口。所述伪开口区域和所述开口区域的每一个中的每单位面积的所述开口的数量小于所述图案区域中的每单位面积的所述开口的数量。

在实施例中,所述伪开口区域的每一个中形成的所述开口的数量可以等于所述开口区域的每一个中形成的所述开口的数量。

在实施例中,所述伪开口区域的每一个中形成的所述开口可以被布置成的形状与所述开口区域的每一个中形成的所述开口可以被布置成的形状可以彼此相同且对称。

在实施例中,所述图案区域可以位于所述第一侧部上的所述伪开口区域中的在所述第一方向上彼此相邻的两个伪开口区域之间。

在实施例中,沉积材料可以不穿过与所述第一侧部重叠的所述图案区域中形成的所述开口以及所述伪开口区域中形成的所述开口。

在实施例中,所述阻挡杆可以与形成在与所述第一侧部重叠的所述图案区域中的所述开口以及所述伪开口区域中形成的所述开口重叠。

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