[发明专利]一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机有效
| 申请号： | 202110646363.2 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113373413B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 张虎;张志强;关立伟;白玉庭;薛建成;牛玉山 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 胡晓男;吴昊 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机，所述蒸发源组件包括电热元件，电热元件的固定端安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板，电热元件加热时通过电热元件的工作端处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料，使堆积在坩埚角度板下方的蒸镀材料融化或升华，解决了因提高产量而提高蒸镀时间造成的坩埚角度板上蒸镀材料堆积的问题，避免长时间蒸镀造成喷嘴堵塞，膜层均一性变差，提升连续蒸镀的时间，提高产能，降低单耗，进而减少蒸镀机的宕机时间，进一步增加连续生产，提高生产产能的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 组件 系统 蒸镀机 | ||
【主权项】：
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