[发明专利]一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机有效
| 申请号： | 202110646363.2 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113373413B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 张虎;张志强;关立伟;白玉庭;薛建成;牛玉山 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 胡晓男;吴昊 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 组件 系统 蒸镀机 | ||
1.一种蒸发源组件，其特征在于，包括电热元件；所述电热元件的固定端安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板，所述电热元件的工作端为刚性弯折结构，所述电热元件加热时通过弯折结构处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料；所述电热元件能够通过卷曲装置收回或伸长，所述电热元件伸长时能够到达相邻坩埚角度板所形成的空间内。
2.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述电热元件为合金电热丝。
3.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述顶部角度板的凹槽内安装有轨道，所述电热元件的固定端安装于所述轨道，以使所述电热元件能沿着所述轨道在所述顶部角度板的凹槽内移动。
4.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述顶部角度板的凹槽内安装有轨道，所述轨道上安装有保护装置，所述电热元件的固定端安装于所述保护装置内，以使所述电热元件能随所述保护装置沿着所述轨道在所述顶部角度板的凹槽内移动；所述电热元件能够收回至所述保护装置内和伸出所述保护装置到达相邻坩埚角度板所形成的空间内。
5.根据权利要求3或4所述的蒸发源组件，其特征在于，所述轨道为工字型轨道。
6.根据权利要求4所述的蒸发源组件，其特征在于，所述保护装置的面向坩埚角度板一侧安装有遮挡装置，所述遮挡装置在所述电热元件收回至所述保护装置内时遮挡所述顶部角度板的凹槽开口处。
7.一种蒸发源系统，其特征在于，包括，权利要求1至6中任一项所述的蒸发源组件。
8.一种蒸镀机，其特征在于，包括权利要求7所述的蒸发源系统。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110646363.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种交互式儿童智能餐盘及其管理系统
- 下一篇：一种移动式配重排球柱
- 同类专利
- 专利分类
