[发明专利]一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机

说明书

本发明提供一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机，所述蒸发源组件包括电热元件，电热元件的固定端安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板，电热元件加热时通过电热元件的工作端处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料，使堆积在坩埚角度板下方的蒸镀材料融化或升华，解决了因提高产量而提高蒸镀时间造成的坩埚角度板上蒸镀材料堆积的问题，避免长时间蒸镀造成喷嘴堵塞，膜层均一性变差，提升连续蒸镀的时间，提高产能，降低单耗，进而减少蒸镀机的宕机时间，进一步增加连续生产，提高生产产能的效果。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机。

背景技术

由于蒸发源中有机材料蒸镀方向的不确定性，目前OLED产品生产所使用的蒸发源(Source)结构中，使用角度板来限制有机材料的蒸镀方向及沉积角度。而蒸镀时腔室处于真空状态，在长时间的蒸镀过程中，角度板上沉积的有机材料也会越来越多，蒸镀时间过长时，角度板上沉积的有机材料会与坩埚上的喷嘴接触，从而导致喷嘴有有机材料凝结，并在继续蒸镀过程中堵塞喷嘴，因此，角度板上堆积的有机材料严重限制了蒸镀机能够连续生产的时间。

本领域亟需一种解决角度板上蒸镀材料堆积问题的技术方案，以延长蒸镀机能够连续生产的时间。

发明内容

为了解决角度板上蒸镀材料堆积问题，本发明提供一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机，能有效延长蒸镀机能够连续生产的时间。

第一方面，本发明实施例提供一种蒸发源组件，包括电热元件；所述电热元件的固定端安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板，所述电热元件加热时通过所述电热元件的工作端处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料。

在一些实施方式中，所述电热元件为合金电热丝。

在一些实施方式中，所述电热元件能够通过卷曲装置收回和伸长，所述电热元件伸长时能够到达相邻坩埚角度板所形成的空间内。

在一些实施方式中，所述电热元件的工作端为刚性弯折结构，所述电热元件加热时通过所述弯折结构处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料。

在一些实施方式中，所述顶部角度板的凹槽内安装有轨道，所述电热元件的固定端安装于所述轨道，以使所述电热元件能沿着所述轨道在所述顶部角度板的凹槽内移动。

在一些实施方式中，所述顶部角度板的凹槽内安装有轨道，所述轨道上安装有保护装置，所述电热元件的固定端安装于所述保护装置内，以使所述电热元件能随所述保护装置沿着所述轨道在所述顶部角度板的凹槽内移动；所述电热元件能够收回至所述保护装置内和伸出所述保护装置到达相邻坩埚角度板所形成的空间内。

在一些实施方式中，所述轨道为工字型轨道。

在一些实施方式中，所述保护装置的面向坩埚角度板一侧安装有遮挡装置，所述遮挡装置在所述电热元件收回至所述保护装置内时遮挡所述顶部角度板的凹槽开口处。

第二方面，本发明实施例提供一种蒸发源系统，包括，第一方面所述的蒸发源组件。

第三方面，本发明实施例提供一种蒸镀机，包括第二方面所述的蒸发源系统。

与现有技术相比，本发明的一个或多个实施例至少具有如下有益效果：

本发明的蒸发源组件包括电热元件，电热元件的固定端安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板，电热元件加热时通过电热元件的工作端处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料，使堆积在坩埚角度板下方的蒸镀材料融化或升华，解决了因提高产量而提高蒸镀时间造成的坩埚角度板上蒸镀材料堆积的问题，避免长时间蒸镀造成喷嘴堵塞，膜层均一性变差，提升连续蒸镀的时间，提高产能，降低单耗，进而减少蒸镀机的宕机时间，进一步增加连续生产，提高生产产能的效果。

附图说明