[发明专利]盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法在审
| 申请号： | 202110640082.6 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113358813A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 任成成;叶青;黄德新;费少强 | 申请（专利权）人： | 合肥中聚合臣电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N31/16 | 分类号： | G01N31/16;G01N21/73 |
| 代理公司： | 安徽申策知识产权代理事务所(普通合伙) 34178 | 代理人： | 程艳梅 |
| 地址： | 231602 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及分析化学技术领域，且公开了盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法，包括以下步骤：S1、盐酸含量测定：S11、以有弱碱为介质，无水短链醇为溶剂，配制浓度为0.5‑1.0mol/L的有机碱‑醇溶液为滴定剂；S12、将滴定剂配制完成后震荡混匀20min，静置12h后再震荡充分混匀；本发明对盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液中两种主组分分别定量，主组分中的盐酸和三氯化铁检测分别采用非水溶剂的动态DET‑U滴定方法及电感耦合等离子发射光谱(ICP‑OES)方法进行定量，能够精确地测量出ITO蚀刻液中盐酸的含量，可以满足ITO蚀刻液在线实时取样的滴定分析，检测速度快，一步完成，无前处理，能实时反馈盐酸浓度，能够满足在线检测和控制要求。 | ||
| 搜索关键词： | 盐酸 氯化铁 ito 蚀刻 组成 检测 方法 | ||
【主权项】：
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