[发明专利]盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法

权利要求书

1.盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、盐酸含量测定：

S11、以有弱碱为介质，无水短链醇为溶剂，配制浓度为0.5-1.0mol/L的有机碱-醇溶液为滴定剂；

S12、将滴定剂配制完成后震荡混匀20min，静置12h后再震荡充分混匀；

S13、将邻苯二甲酸氢钾基准试剂放入110℃烘干箱中干燥4-6h，干燥结束后取出置于干燥器中冷却40-60min；

S14、称取步骤S13中干燥冷却的邻苯二甲酸氢钾1.0-1.5g，精确到0.1mg，加适量高纯水溶解，放在自动电位滴定仪的滴定台上，并搅拌至完全溶解；

S15、通过自动电位滴定仪将有机碱-醇溶液滴定剂滴定步骤S14的邻苯二甲酸氢钾水溶液，直至出现明显滴定突越，此突越即为滴定终点，根据称取的邻苯二甲酸氢钾的质量计算滴定剂有机碱-醇溶液浓度；

S16、重复步骤S15四次，并计算五次滴定剂有机碱-醇溶液的浓度平均值，且满足五次平行滴定的RSD≤0.2％，以五次滴定的平均值作为有机碱-醇溶液最终浓度；

S17、称取一定量盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液样品，再加入醇类有机溶剂，搅拌均匀；

S18、通过自动电位滴定仪，用有机碱-醇溶液滴定到盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液溶液中，直至出现明显突越点即为盐酸滴定等当点，根据有机碱-醇溶液浓度计算盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液样品中盐酸w(Hcl)％浓度，其计算公式为：

式中：c为有机碱-醇溶液浓度，单位为mol/L；V_EP1为滴定等当点对应的滴定剂有机碱-醇溶液消耗体积，单位为ml；M为盐酸的摩尔质量，单位为g/mol；m为称取的ITO蚀刻液质量

S2、三氯化铁含量测定：

S21、配制梯度分别是1，2，3，4，5ppm铁元素的标准溶液；

S22、用电感耦合等离子发射光谱(ICP-OES)进步骤S21中的标准溶液，制作标准曲线，标准曲线的线性关系满足线性相关系数R²＞0.9995；

S23、将ITO蚀刻液样品第一次稀释200倍，然后再进行第二次稀释，稀释倍数是250倍，两次稀释的累积稀释倍数为50000倍；

S24、将二次稀释后的溶液直接进样检测，根据标准曲线得出稀释后的样品中铁的含量，三氯化铁含量w(Fecl₃)％计算公式为：

式中：c为稀释后的检测浓度，单位为ppm；A为ITO蚀刻液累积稀释倍数；159.5为三氯化铁分子量，单位为g/mol；56为铁原子分子量，单位为g/mol。

2.根据权利要求1所述的盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法，其特征在于：所述盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液体系中盐酸百分含量为10％-30％，可对ITO蚀刻液样品在线实时取样，无需前处理，直接用自动电位滴定仪测定盐酸含量。

3.根据权利要求1所述的盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法，其特征在于：所述盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液体系中盐酸百分含量为10％-25％，可对ITO蚀刻液样品在线实时取样，无需前处理，直接稀释后用电感耦合等离子发射光谱(ICP-OES)测试铁元素含量，然后换算成溶液中三氯化铁含量。