[发明专利]盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法

说明书

本发明涉及分析化学技术领域，且公开了盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法，包括以下步骤：S1、盐酸含量测定：S11、以有弱碱为介质，无水短链醇为溶剂，配制浓度为0.5‑1.0mol/L的有机碱‑醇溶液为滴定剂；S12、将滴定剂配制完成后震荡混匀20min，静置12h后再震荡充分混匀；本发明对盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液中两种主组分分别定量，主组分中的盐酸和三氯化铁检测分别采用非水溶剂的动态DET‑U滴定方法及电感耦合等离子发射光谱(ICP‑OES)方法进行定量，能够精确地测量出ITO蚀刻液中盐酸的含量，可以满足ITO蚀刻液在线实时取样的滴定分析，检测速度快，一步完成，无前处理，能实时反馈盐酸浓度，能够满足在线检测和控制要求。

技术领域

本发明涉及的分析化学技术领域，具体为盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法。

背景技术

铟锡氧化物(Indium Tin Oxide，ITO)对基板沉底有很好的附着性，容易制备成电极图形，ITO导电薄膜对可见光的透过率高，电阻率低，较高的化学稳定性，被广泛用于平板显示器透明电极，而现有技术缺少一种对盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液主组分的快速检测方法。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法，解决了上述背景技术中所存在的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法，包括以下步骤：

S1、盐酸含量测定：

S11、以有弱碱为介质，无水短链醇为溶剂，无机短链醇一般为碳原子数小于等于3，包含但不限于甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇，配制浓度为0.5-1.0mol/L的有机碱-醇溶液为滴定剂，有机碱-醇体系包含但不限于一甲胺-甲醇、一甲胺-乙醇、二甲胺-甲醇、二乙胺-乙醇、乙醇胺-甲醇、乙醇胺-乙醇等；

S12、将滴定剂配制完成后震荡混匀20min，静置12h后再震荡充分混匀；

S13、将邻苯二甲酸氢钾基准试剂放入110℃烘干箱中干燥4-6h，干燥结束后取出置于干燥器中冷却40-60min；

S14、称取步骤S13中干燥冷却的邻苯二甲酸氢钾1.0-1.5g，精确到0.1mg，加适量高纯水溶解，放在自动电位滴定仪的滴定台上，并搅拌至完全溶解；

S15、通过自动电位滴定仪将有机碱-醇溶液滴定剂滴定步骤S14的邻苯二甲酸氢钾水溶液，直至出现明显滴定突越，此突越即为滴定终点，根据称取的邻苯二甲酸氢钾的质量计算滴定剂有机碱-醇溶液浓度；

S16、重复步骤S15四次，并计算五次滴定剂有机碱-醇溶液的浓度平均值，且满足五次平行滴定的RSD≤0.2％，以五次滴定的平均值作为有机碱-醇溶液最终浓度；

S17、称取一定量盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液样品，再加入醇类有机溶剂，搅拌均匀；

S18、通过自动电位滴定仪，用有机碱-醇溶液滴定到盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液溶液中，直至出现明显突越点即为盐酸滴定等当点，根据有机碱-醇溶液浓度计算盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液样品中盐酸w(Hcl)％浓度，其计算公式为：

式中：c为有机碱-醇溶液浓度，单位为mol/L；V_EP1为滴定等当点对应的滴定剂有机碱-醇溶液消耗体积，单位为ml；M为盐酸的摩尔质量，单位为g/mol；m为称取的ITO蚀刻液质量

S2、三氯化铁含量测定：

S21、配制梯度分别是1，2，3，4，5ppm铁元素的标准溶液；